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桌面式抛光摩擦试验机

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NBIT FTM M110是一款由大阳城娱乐43335(中国)有限公司研制的桌面式晶圆打磨抛光设备,具备横向、纵向及上下摩擦副旋转的四轴联动运动控制功能,采用电动伺服闭环控制模式,可精确控制法向加载力,并同步原位获取摩擦力,得到摩擦系数

M110可用于晶圆类产品的打磨抛光,也可用以开展摩擦学实验。


电动伺服控制四轴联动运动模式,上下试样同时旋转,可用于打磨抛光也可用于摩擦学实验

 电动伺服闭环控制,精确控制法向力

配备液体池,可用于液体环境抛光,也可用于浸泡式润滑摩擦实验

试验机专用多维力传感器,同步原位检测加载力及摩擦力

配备温度传感器,实时获取试样温度数据

可在线导出实验报告在线


垂直定位和负载电机驱动

最大垂直行程 

100mm

定位精度

0.02 mm

速率

0.1~10mm/s

水平定位与驱动电机驱动 

最大水平行程

75mm

定位精度  

0.02 mm

速率          

0.1~10mm/s

上部旋转驱动  

转速          

0.1~500rpm

最大负载

400N

下部旋转驱动  

转速  

0.1~500rpm

最大负载   

400N

额定负载和摩擦力传感器  

量程  

4~400N

精度          

0.4N

温度测量

测量范围   

-50°C~+100°C

试样规格

上试样

φ100mm、φ150mm   、φ200mm盘

下试样

φ200mm   盘

供电及功率

AC220V,50Hz,2kW


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