NBIT,六维力传感器、二维力传感器、三维力传感器等力传感器生产厂家!
NBIT FTM M110是一款由大阳城娱乐43335(中国)有限公司研制的桌面式晶圆打磨抛光设备,具备横向、纵向及上下摩擦副旋转的四轴联动运动控制功能,采用电动伺服闭环控制模式,可精确控制法向加载力,并同步原位获取摩擦力,得到摩擦系数。
M110可用于晶圆类产品的打磨抛光,也可用以开展摩擦学实验。
电动伺服控制四轴联动运动模式,上下试样同时旋转,可用于打磨抛光也可用于摩擦学实验
电动伺服闭环控制,精确控制法向力
配备液体池,可用于液体环境抛光,也可用于浸泡式润滑摩擦实验
配备温度传感器,实时获取试样温度数据
可在线导出实验报告在线
垂直定位和负载电机驱动 | 最大垂直行程 | 100mm |
定位精度 | ||
速率 | 0.1~10mm/s | |
水平定位与驱动电机驱动 | 最大水平行程 | 75mm |
定位精度 | 0.02 mm | |
速率 | 0.1~10mm/s | |
上部旋转驱动 | 转速 | 0.1~500rpm |
最大负载 | 400N | |
下部旋转驱动 | 转速 | 0.1~500rpm |
最大负载 | 400N | |
额定负载和摩擦力传感器 | 量程 | 4~400N |
精度 | 0.4N | |
温度测量 | 测量范围 | -50°C~+100°C |
试样规格 | 上试样 | φ100mm、φ150mm 、φ200mm盘 |
下试样 | φ200mm 盘 | |
供电及功率 | AC220V,50Hz,2kW |
桌面式抛光摩擦试验机
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